shallow trench isolation解釋
...(TrenchOxideDishing)的製程瓶.頸。關鍵詞.淺溝渠隔離技術(ShallowTrenchIsolation;STI);固定式砥粒研磨(FixedAbrasive.Polishing);化學機械研磨(DirectCMP) ...,Shallowtrenchisolation(STI),alsoknownasboxisolationtechnique,isanintegratedcircuitfeaturew...
淺槽隔離,即shallowtrenchisolation,簡稱STI。通常用於0.25um以下工藝,通過利用氮化硅掩膜經過澱積、圖形化、刻蝕硅後形成槽,並在槽中填充澱積氧化物, ...
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Shallow trench isolation
Shallow trench isolation (STI), also known as box isolation technique, is an integrated circuit feature which prevents electric current leakage between ...
工學院半導體材料與製程設備學程碩士論文
由 嚴永民 著作 · 2011 — Shallow Trench Isolation (STI) techniques are essential for semiconductor device for reducing electrical interferences between devices of sub-micro and sub 100- ...
浅槽隔离工艺(STI)
2010年11月28日 — 相信很多在现在看工艺厂的相关文档时,会看到有些图上面标有STI的注释,STI是英文shallow trench isolation的简称,翻译过来为浅槽隔离工艺。
何謂STI? - WU MIN SHIN
2014年12月19日 — STI = Shallow Trench Isolation. 顧名思義就是在CMOS上挖一條溝渠來做隔離,那是隔離什麼呢? 因為在CMOS上會有P+與N+結合起來的depletion ...
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2008年1月23日 — 談到STI effect請問板上的先進們~~那是什麼意思呢?? 何謂STI effect? ,Chip123 科技 ... STI則為Shallow Trench Isolation(淺溝分離法)的簡稱,與LOCOS相同 ...